TANULMÁNY

 SZERKESZTETTE:
Dr.Vágó György

TARTALOMJEGYZÉK

1. BEVEZETÉS
2. PLAZMA GENERÁLÁS FIZIKÁJA ÉS MÓDSZEREI
3. RÉTEGELŐÁLLÍTÁS
4. RÉTEG ELTÁVOLÍTÁS
5. PLAZMAOLVASZTÁS. RÉTEG FESZÜLTSÉGMENTESÍTÉS
6. RÉTEGVIZSGÁLATOK
7. MECHANIKAI ÉS ELEKTROMOS RÉTEGTULAJDONSÁGOK MÉRÉSE
8. NAGYNYOMÁSÚ PLAZMA TECHNOLÓGIÁK
IRODALOM
RÉSZLETES TARTALOMJEGYZÉK