4.4. Alkalmazások
2
       4.4.1.1. SiO2 marása

       4.4.1.2. Si és különböző fémek marása

       4.4.1.3. III -V. Félvezetők

       4.4.2. Különleges ionsugaras eljárások

       4.4.3. ECR marás

       4.4.4. MERIE

       4.5. Plazma tisztítás